Application de l'inspection de la propreté technique dans l'industrie électronique et des semi-conducteurs

Dans l'industrie de l'électronique et des semi-conducteurs, la propreté technique est un facteur essentiel pour garantir la qualité, la performance et la fiabilité des produits. Son application couvre l'ensemble du processus, du traitement des matières premières au conditionnement du produit fini. Voici les détails :

1. Sources et risques de contamination

1.1 Fabrication de plaquettes de silicium

Les plaquettes de silicium, matériau de base des semi-conducteurs, peuvent être contaminées par des particules, des impuretés métalliques ou des matières organiques à leur surface. Cela peut entraîner des défauts de transfert de motifs lors des processus de photolithographie et de gravure ultérieurs, compromettant ainsi l'intégrité des circuits de la puce.

1.2 Photolithographie et dépôt de couches minces

Lors du processus de photolithographie, de minuscules contaminants présents sur le masque, la résine photosensible ou la surface du wafer peuvent entraîner une distorsion du motif lithographique, voire des courts-circuits ou des circuits ouverts. Par exemple, un seul micron de poussière peut provoquer la défaillance d'un transistor sur une puce.

- Lors du dépôt de couches minces (comme le dépôt chimique en phase vapeur (CVD) et le dépôt physique en phase vapeur (PVD), des contaminants peuvent être incorporés dans la couche de couche mince, entraînant une résistivité anormale et des défauts structurels, affectant ainsi les performances électriques du dispositif.

1.3 Emballage et tests

- Pendant le processus d'emballage, la contamination dans la zone de liaison des fils peut réduire la force de liaison, entraînant une mauvaise connexion entre la puce et les circuits externes et même des échecs de transmission du signal.

Pendant la phase de test, des contaminants peuvent provoquer un mauvais contact entre la sonde et les points de test de la puce, ce qui peut fausser les résultats. Les sondes contaminées peuvent également contaminer d'autres puces.

2. Application de l'équipement de test de propreté JYBO CleanTech dans l'industrie de l'électronique et des semi-conducteurs

2.1 Armoires de propreté technique JYBO CleanTech Il est possible d'extraire les impuretés des surfaces des composants grâce à diverses méthodes d'extraction, notamment le rinçage sous pression, les ultrasons, le nettoyage par agitation, le rinçage par perfusion et la purge à l'air. Ces méthodes d'extraction peuvent toutes être appliquées aux composants semi-conducteurs électroniques afin de garantir leur conformité aux normes de propreté spécifiées.

La purge d'air joue un rôle crucial dans les composants électroniques semi-conducteurs. Elle utilise de l'air comprimé propre et exempt d'huile pour purger le composant testé et éliminer les particules. Les paramètres de démarrage de la purge d'air incluent généralement la forme de la buse : circulaire à plein débit ; le diamètre de la buse : 1,5 mm ; la pression : 1,5 bar ; la distance buse-pièce : 10 cm maximum ; et le temps de purge/surface de la pièce : 1 seconde/cm².

Lors des essais de qualification et d'atténuation, le temps de purge total de chaque surface de pièce dépend du nombre d'extractions nécessaires pour respecter la norme d'atténuation. Si ces paramètres de démarrage ne respectent pas la norme d'atténuation, ou si d'autres paramètres plus adaptés sont disponibles et documentés, ces paramètres de démarrage peuvent être ajustés.

2.2 Le système d'analyse automatique des particules JYBO CleanTech comprend deux modèles. L'un est équipé d'un microscope à balayage pour la mesure des particules, avec des spécifications différentes (grossissement de l'objectif, pixels et grossissement optique). Fabriqués par Olympus au Japon, ils présentent des performances distinctes. Les autres composants du système d'inspection, notamment les caméras, les sources lumineuses, les ordinateurs et les logiciels, offrent d'excellentes performances. Les sources lumineuses et les logiciels, fabriqués en interne, présentent des caractéristiques et des capacités uniques et sont constamment améliorés.

Le système d'analyse automatique des particules JYBO CleanTech fournit une analyse détaillée du type, de la taille et de la quantité des particules. Il génère automatiquement un rapport d'inspection de propreté complet en un seul clic et enregistre automatiquement ces données. Grâce à l'accumulation de données de propreté, les entreprises peuvent identifier efficacement la source de contamination, optimiser leurs processus de production et améliorer la qualité et l'efficacité de leurs produits.

2.3 Le armoire de propreté des composants Conçu et entretenu en stricte conformité avec les normes de propreté les plus strictes, il répond notamment aux exigences de propreté de classe 1, ce qui signifie que le nombre de particules de 0,5 micron ou plus est strictement contrôlé à moins de 1 par pied cube d'air. Cet environnement propre et de haute qualité offre d'excellentes conditions de nettoyage pour les tests de propreté des composants, isolant efficacement les particules et contaminants potentiellement présents dans l'environnement extérieur, réduisant ainsi considérablement les risques d'interférence avec la précision et la fiabilité des résultats, et garantissant l'authenticité et la nature scientifique des données.

En résumé, le système d'analyse de la propreté technique est directement lié au rendement (pourcentage de produits qualifiés) et à la durée de vie des semi-conducteurs. Les normes de propreté exigeantes de l'industrie (du micron au nanomètre) sont l'un des principaux moteurs du progrès continu de la technologie de fabrication des semi-conducteurs.